产品详细介绍
TCS208F采用先进的MEMS加工技术生产，利用被测组份和参考气体的热导系数不同而响应的浓度型传感器。产品具有检测范围大、可靠性高、安装方便、维护简单等优点。可广泛应用于天然气，CH4、H2，CO2，CO，SF6，Xe，He，NH3等气体成份检测，也可用于测量非常小的气体容积变化。
测量精度高
灵敏度高
集成温度补偿，漂移小
体积小，响应速度快
可以测量微小的气体容量
高性价比
TO8封装，抗冲击能力强
详细介绍：
1. 最大限值
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最小
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典型
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最大
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单位
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热功率P（Rm1+Rm2）：
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—
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—
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30
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mW
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测量温度Tm
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—
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—
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180
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°C
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环境温度
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-20
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—
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+85
|
°C
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气体压力（1）
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—
|
—
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200
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bar
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注：由于膜的热时间常数短，短时间的加过高的热功率会毁坏传感器。
2. 参数说明：
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最小
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典型
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最大
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单位
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电阻，Rm1，Rm2（Tm=25°C）
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92
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100
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115
|
Ω
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电阻，Rt1，Rt2
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220
|
240
|
275
|
Ω
|
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商，Rtx / ( Rm1+Rm2 )，x∈{1,2}
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1.13
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1.2
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1.27
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1
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阻抗差，Rm1 - Rm2
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-2.0
|
—
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+2.0
|
Ω
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α=温度系数，( Rm, Rt ) | 20 - 100°C
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4.8（2）
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5.5
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5.9
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10-3·K-1
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G =几何系数（3）
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—
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3.6
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—
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mm
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τm =膜的热时间常数
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—
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<5
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—
|
ms
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τdiffusion =气体交换的时间常数
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—
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<100
|
—
|
ms
|
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漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2}
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—
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0.001
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0.01
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%/week
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散射结构的体积
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—
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0.2
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—
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mm3
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保持干净的周围环境空间大小
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—
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100
|
—
|
mm3
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基础材料
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硅,采用蚀刻技术获得微观结构
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尺寸结构: 包括底座
不包括底座
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3mm × 3mm × 1mm
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13mm Ø × 15.4mm
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暴露在空气中的材料
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Si, SiOxNy, 金, 环氧材料
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注释: (1) 根据供应商的说明书对于适当的设备提供的压力参数
(2) α的最小值只适用于与低规格电压辅助源结合的情况. 产品会不断的改良使它更接近于DIN 43760的规格.
(3) 因数G是由内部的传感器的机构决定的.
传感器的机械测试:
振动: 符合IEC 68-2-6 附录B (1982) 10圈,±1.5mm; 20g; 10..2000Hz; 1阶/分钟
冲击: 符合IEC 68-2-27 修正#1 (82年10月),径向和轴向各10次, 100g; 7.5ms / 300g; 2.5ms / 900g; 1.2ms. |
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