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产品型号：500*500
产品代码：
产品价格：11999
计量单位：台
折 扣 率： 0
最后更新：2014-07-02
关 注 度：3346
生产企业：北京微纳通科技有限公司
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产品详细介绍ABL9000气浮平台
1世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨（空气轴承）
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50u |
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| 会员级别：免费会员 |
| 加入时间：2014-07-01
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