產(chǎn)品詳細(xì)介紹大功率桌面濺射儀，采用小電流高電壓，大功率1000w，配有水冷機(jī)接口，可長時間運(yùn)行。該產(chǎn)品為臺式磁控濺射鍍膜機(jī)，能夠在非導(dǎo)電或?qū)щ姴涣嫉臉悠飞贤坎冀穑ˋu），鈀（Pd），鉑（Pt）和金/鈀（Au / Pd）的薄膜。 在較短時間內(nèi)即可形成具有細(xì)粒度的均勻薄膜，使樣品適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。儀器結(jié)構(gòu)緊湊，全自動控制，設(shè)計符合人體工程學(xué)，所得結(jié)果一致，可重復(fù)性高。
主要特點(diǎn)：輕便、濺射面積大靶材可按用戶要求加工制作
小型蒸鍍儀鄭州科探儀器技術(shù)資料
控制方式
7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制
加熱方式
數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率
≤1200W
輸出電壓電流
電壓≤12V 電流≤120A
真空度
機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤10^-3Pa
擋板類型
電控
真空腔室
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺
可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉(zhuǎn)速
8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離
70-140mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)
≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類型
鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩
預(yù)留真空接口
KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
可選配擴(kuò)展
機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）
數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）
分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）
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| 加入時間：2024-06-12
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