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Pi COAT前清洗設備

1．設備概要

本設備通過清洗、噴淋、風刀等過程洗凈基板，并通過IR、UV去除水分，從而提高基板表面的浸潤性，冷卻基板溫度通過后續的TBL進入COAT設備。

上料機、TBL、下料機等設備，根據客戶的線體構成、印刷設備等具體情況而定。

2．設備規格

（1）處理對象：STN液晶用玻璃板

（2）處理目的：清洗、干燥

（3）對象尺寸：14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、1.1mm

（4）籃子規格：貴公司提供

（5）基板傳送方向：從左到右，或從右到左

（6）設備外形尺寸：約10450×1400×1650mm

（7）干燥重量：約5200Kg

（8）基板傳送高度：從地面至基板下面為900mm

（9）傳送方式：水平枚葉式傳送方式

（10）傳送滾輪間距：基本為80mm

（11）處理時間：標準17秒/塊標準傳送速度約2.1m/分鐘

（12）啟動準備時間：啟動后約60分鐘

3．所需電力

（1）主機：3P，380V，50Hz，約130kWA

（2）合計：約130kVA

（3）純水用量：約32L/min，0.15Mpa G，電阻值10MΩ/cm以上

（4）冷卻水用量：約12L/min，0.15MpaG無背壓，約17℃

（5）空氣用量：約4200NL/min，0.4～0.5Mpa G，潔凈干燥氣

P/R前清洗設備

1．設備概要

本設備通過清洗、噴淋、風刀洗凈基板，并通過IR、UV去除水分，從而提高基板表面的浸潤性，冷卻基板溫度通過后續的TBL入COAT設備。上料機、TBL、下料機等設備，根據貴公司的線體構成、印刷設備等具體情況而定。

2．設備規格

（1）處理對象：STN液晶用玻璃板

（2）處理目的：清洗、干燥

（3）玻璃尺寸： 14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、1.1mm

（4）籃子規格：貴公司提供

（5）基板傳送方向：從左到右，或從右到左

（6）設備外形尺寸：約11840×1400×1650mm

（7）干燥重量：約7500Kg

（8）基板傳送高度：從地面至基板下面為900mm

（9）傳送方式：水平枚葉式傳送方式

（10）傳送滾輪間距：基本為80mm

（11）處理時間：標準17秒/塊標準傳送速度 約2.1米/分鐘

（12）啟動準備時間：啟動后約60分鐘

3．外供電源

（1）主機：3相，380V，50Hz，約137kWA

（2）合計：約137kVA

（3）純水用量:約32L/min，0.15Mpa G，電阻值10MΩ/cm以上

（4）冷卻水用量:約12L/min，0.15Mpa G無背壓，約17℃

（5）空氣用量:約4200NL/min，0.4～0.5Mpa G，潔凈干燥氣

TOP－COAT前清洗設備

1．設備概要

本設備通過清洗、噴淋、風刀洗凈基板，并通過IR、UV去除水分，從而提高基板表面的浸潤性，冷卻基板溫度通過后續的TBL入COAT設備。上料機、TBL、下料機等設備，根據貴公司的線體構成、印刷設備等具體情況而定。

2．設備規格

（1）處理對象：STN、CSTN液晶用玻璃板

（2）處理目的：清洗、干燥

（3）玻璃尺寸： 14″×16″，17″，t＝0.4、0.55、0.7、1.1mm

（4）籃子規格：貴公司提供(調試時最少需要2個)

（5）基板傳送方向：從左到右，或從右到左

（6）設備外形尺寸：約10450×1400×1650mm

（7）干燥重量：約5200Kg

（8）基板傳送高度：從地面至基板下面為900mm

（9）傳送方式：水平枚葉式傳送方式

（10）傳送滾輪間距：基本為80mm

（11）處理時間：標準18秒/塊標準傳送速度 約2.1米/分鐘

（12）啟動準備時間：啟動后約60分鐘

3．外供電源

（1）主機：3相，380V，50Hz，約130kWA

（2）合計：約130kVA

（3）純水用量：約32L/min，0.15Mpa G，電阻值10MΩ/cm以上

（4）冷卻水用量：約12L/min，0.15Mpa G無背壓，約17℃

（5）空氣用量：約4200NL/min，0.4～0.5Mpa G，潔凈干燥氣

（6）真空用量：約30L/min，－67kPa

蝕刻設備

1．設備概要

本設備對應ITO膜厚，利用四個區的蝕刻單元實施處理，根據膜厚不同，通過開關選擇，切換氣閥等管路系統。通過噴淋、傾斜和風刀去除液體，從而實現ITO膜的蝕刻過程。為對應彩色基板，可使用50℃（MAX55℃）液溫的蝕刻液（鹽酸、DIW、氯化鐵）。

2．設備規格

（1）處理對象：STN、CSTN液晶用玻璃板

（2）處理目的：ITO膜蝕刻，干燥

（3）玻璃尺寸： 14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、1.1mm

（4）籃子規格：貴公司提供

（5）基板傳送方向：從左到右，或從右到左

（6）設備外形尺寸：約11380×1400×1650mm

（7）干燥重量：約7000Kg

（8）基板傳送高度：從地面至基板下面為900mm

（9）傳送方式：水平枚葉式傳送方式

（10）傳送滾輪間距：基本為80mm

（11）處理時間：標準17秒/塊；標準傳送速度約2.1m/分

（12）啟動準備時間：啟動后約60分鐘

3．外供電源

（1）主機：3相，380V，50Hz，約58kWA

（2）純水用量：約32L/min，0.15Mpa G，電阻值10MΩ/cm以上

（3）冷卻水用量：約0L/min

（4）空氣用量：約2500NL/min，0.4～0.5Mpa G，潔凈干燥氣

脫膜設備

1．設備概要

本設備通過使用堿性脫膜液去除光刻膠，之后有噴淋、風刀等除液單元。脫膜液濃度、處理等具體規格需和用戶具體商定。需根據溶液中的光刻膠含有率，定期更換液體。

2．設備規格

（1）處理對象：STN、CSTN液晶用玻璃板

（2）處理目的：光刻膠脫膜、干燥

（3）玻璃尺寸：14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、1.1mm

（4）籃子規格：貴公司提供

（5）基板傳送方向：從左到右，或從右到左

（6）設備外形尺寸：約9360×1400×1650mm

（7）干燥重量：約5000Kg

（8）基板傳送高度：從地面至基板下面為900mm

（9）傳送方式：水平枚葉式傳送方式

（10）傳送滾輪間距：基本為80mm

（11）處理時間：標準17秒/塊，標準傳送速度約2.1m/分鐘

（12）啟動準備時間：啟動后約60分鐘

3．外供電源

（1）主機：3相，380V，50Hz，約80kWA

（2）純水用量：約32L/min，0.15Mpa G，電阻值10MΩ/cm以上

（3）冷卻水用量：約0L/min

（4）空氣用量：約2500NL/min，0.4～0.5Mpa G，潔凈干燥氣

顯影設備

1．設備概要

為達到均勻顯影的效果，本設備通過通過SlitSW進行顯影，然后通過Swing SW加強顯影效果，最后使用噴淋和風刀去除液體。須根據液體中的光刻膠含有率情況，定期更換液體。

2．設備規格

（1）處理對象：STN液晶用玻璃板

（2）處理目的：光刻膠顯影、干燥

（3）對象尺寸等：14″×16″，17″，T=0.4、0.55、0.7、1.1mm

（4）籃子規格：貴公司提供

（5）基板傳送方向：從左到右，或從右到左

（6）設備外形尺寸：約7270×1400×1650mm

（7）干燥重量：約4200Kg

（8）基板傳送高度：從地面至基板下面為900mm

（9）傳送方式：水平枚葉式傳送方式

（10）傳送滾輪間距：基本為80mm

（11）處理時間：標準17秒/塊，標準傳送速度約2.1m/分鐘

（12）啟動準備時間：啟動后約60分鐘

3．外供電源

（1）主機：3相，380V，50Hz，約30kWA

（2）合計：約30kVA

（3）純水用量：約32L/min，0.15Mpa G，電阻值10MΩ/cm以上

（4）冷卻水用量：約0L/min

（5）空氣用量：約2100NL/min，0.4～0.5Mpa G，潔凈干燥氣