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折 扣 率： 0
最后更新：2013-06-06
关 注 度：3344
生产企业：北京华林嘉业科技有限公司
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产品详细介绍
显影清洗机
适用对象：硅片 、蓝宝石基片，2-12inch，2-4 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
适用产业：半导体照明（LED）、半导体材料、半导体分立器件、集成电路、MEMS、有机发光二级管（OLED）等；
控制模式：手动控制模式、自动控制模式；
制程应用：湿法清洗显影制程；
PSS衬底（SPM）清洗机
产能要求： GaN工艺 150000片/月和PSS工艺 105000片/月，共计255000片/月（设计机台GaN工艺和PSS工艺各有1道，按照25分钟/run,50片/run。产能共计270000片/月,按照22小时/天， 26天/月计算）满足要求 ；
药液种类：超声波：去光阻液或ITO溶液；511溶液（H2SO4:H2O2:H2O=5:1:1）；稀HCl溶液（HCl:H2O=1:5） ；
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| 会员级别：免费会员 |
| 加入时间：2013-05-23
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