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产品型号：200*200
产品代码：
产品价格：12999
计量单位：台
折 扣 率： 0
最后更新：2014-07-02
关 注 度：4511
生产企业：北京微纳通科技有限公司
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产品详细介绍ABL3600气浮平台
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨（空气轴承）
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um |
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| 会员级别：免费会员 |
| 加入时间：2014-07-01
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