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最后更新：2010-09-20
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生產(chǎn)企業(yè)：上海卓倫微納米設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹1.掃描系統(tǒng)：
1.1 掃描模式：STM恒流/恒高模式，I-Z/I-V曲線測量；AFM接觸/橫向力/輕敲/相移模式，力曲線測量
1.2 最大掃描范圍：50μm*50μm掃描器（可選配100μm*100μm掃描器）
單一大量程自適應(yīng)掃描器不更換技術(shù)，最大100μm掃描器可達(dá)HOPG原子分辨率
1.3 分辨率：
掃描隧道顯微鏡STM：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm；HOPG原子定標(biāo)
接觸模式AFM：X-Y向0.2nm；Z向0.03nm；云母晶格定標(biāo)
輕敲模式AFM：X-Y向0.2nm，Z向0.1nm；DNA樣品驗證
單一大量程自適應(yīng)掃描器不更換技術(shù)，最大100μm掃描器可達(dá)HOPG原子分辨
1.4 樣品臺尺寸：直徑≤Φ65mm，厚度≤30mm，重量≤15g
1.5 探針識別：自動識別當(dāng)前針尖類型，軟硬件自動切換到相應(yīng)的工作模式，無需人工干預(yù)。
1.6 探針保護(hù)：獨特設(shè)計的針尖保護(hù)技術(shù)，包括自動進(jìn)針保護(hù)和平滑移動保護(hù)，能有效降低樣品對針尖的損傷，使儀器長時間保持高分辨圖像。
1.7 探針趨近：高精度高速伺服電機，控制針尖自動逼近樣品，行程<30mm，步長<23nm
1.8 樣品移動：計算機控制 高精度電控樣品移動平臺（國內(nèi)獨家配置）
1.9 納米加工：矢量刻蝕功能 、圖形刻蝕功能（選配）
2.樣品定位功能模塊
2.1 高分辨CCD光學(xué)顯微系統(tǒng)：在計算機上成像，用于觀察探針和樣品，放大倍數(shù)80—600倍，視場1.6mm，工作距離10cm，配套控制及成像軟件。一體式設(shè)計，工作過程中不必移開，可全程隨時觀測。
2.2 高精度電控樣品移動平臺：計算機自動控制，配合光學(xué)顯微系統(tǒng)進(jìn)行精確樣品移動和定位，全程可視；
2.2.1 移動范圍5mm*5mm，單步最小步長50nm
2.2.2 高精度電控移動平臺和單一大量程自適應(yīng)掃描器技術(shù)結(jié)合，實現(xiàn)從最大量程到最小幾納米掃描范圍內(nèi)，全程計算機控制樣品定位，無盲點
2.2.3 直接用鼠標(biāo)拖動待測區(qū)到目的地，計算機控制移動平臺自動移動
2.2.4 可任意設(shè)置原點位置，一鍵返回（計算機控制移動平臺自動回到設(shè)置的原點位置）
2.2.5 可任意標(biāo)記多個測樣點，編制定位路徑，計算機控制移動平臺自動到達(dá)各設(shè)定的測樣點
2.2.6 可直接輸入X、Y方向移動數(shù)值，計算機控制移動平臺自動定位 國內(nèi)獨家配置，其它廠商只提供手動調(diào)節(jié)的精密螺桿移動平臺，無法實現(xiàn)樣品精密定位搜尋。
2.3 單一大量程自適應(yīng)掃描器：最大100μm掃描器可達(dá)HOPG原子分辨率，測樣過程中不用更換掃描器可實現(xiàn)從50微米—幾納米掃描范圍連續(xù)定位高精度成像（全球獨有核心關(guān)鍵技術(shù)）
3.控制系統(tǒng)：
3.1 控制/采集精度：采用雙16位掃描/采樣差分同步獨立高壓放大專利技術(shù)，16通道雙16位A/D （精度相當(dāng)于23位）；12通道16位D/A；4通道雙16位D/A（精度相當(dāng)于23位）
3.2 反饋方式：8通道 數(shù)字化反饋+數(shù)控模擬反饋
3.3 中樞控制器：32位ARM技術(shù)，16 M RAM ，2M Flash ROM
3.4 中樞總線：數(shù)字總線：速度24M/s，寬度16位；外部地址總線：速度24M/s，寬度8位；固件下載總線：速度500Kb/s，寬度8位，可直接遠(yuǎn)程下載升級可編程電子器 件中的程序；模擬總線：-10～+10V，信噪比200000：1。
3.5 中樞總線余量：3通道16位D/A；3通道雙16位A/D（精度相當(dāng)于23位）；20位DIO
3.6 擴展余量：16通道16位D/A；16通道雙16位A/D（精度相當(dāng)于23位）
3.7 高壓單元：±300V 紋波噪聲1.5mV；4通道雙16位D/A（精度相當(dāng)于23位）提供掃描器XYZ三個方向的控制電壓；可擴展到8通道
3.8 計算機接口：USB2.0接口
3.9 掃描頻率：0.1～300Hz
3.10 掃描角度：-180?~180?連續(xù)可調(diào)
3.11 圖像采樣點：128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048可調(diào)
3.12 電流檢測靈敏度≤10pA
3.13 力檢測靈敏度≤1pN
3.14 預(yù)置隧道電流：1pA～50nA
3.15 偏置電壓：-10～+10V
4.軟件系統(tǒng)：
4.1 操作系統(tǒng)：Windows 98/2000/XP
4.2 在線控制軟件：四窗口圖像界面，可觀察4個不同數(shù)據(jù)通道同步成像;系統(tǒng)智能記憶功能：一個參數(shù)改變，相關(guān)參數(shù)會根據(jù)系統(tǒng)經(jīng)驗自動調(diào)節(jié)到最佳范圍；壓電陶瓷非線性校正，曲面擬合校正，樣品傾斜校正等。
4.3 圖像處理軟件：3D顯示，濾波處理，圖像修飾，邊緣增強、形態(tài)學(xué)處理、圖像格式轉(zhuǎn)換，圖像幾何變換、調(diào)色板設(shè)置等。
4.4 數(shù)據(jù)分析軟件：粗糙度分析，顆粒度分析，剖面分析，膜厚分析、臺階分析、各種曲線統(tǒng)計/分析等。
4.5 軟件開發(fā)模板：便于用戶進(jìn)行二次開發(fā)，完成特殊的數(shù)據(jù)處理功能。
4.6 專業(yè)膜厚/臺階測量分析軟件：用SPM儀器測量膜厚的技術(shù)關(guān)鍵在于有效搜尋到并能夠控制探針移動到薄膜或者臺階的邊沿，只有使用我們國內(nèi)獨家配置的高精度電控樣品移動平臺配合CCD系統(tǒng)才可以做到。
4.7 遠(yuǎn)程控制軟件：支持遠(yuǎn)程網(wǎng)控技術(shù)，提供遠(yuǎn)程培訓(xùn)、遠(yuǎn)程檢修、遠(yuǎn)程實驗服務(wù)（選配）
4.8 軟件服務(wù)包：軟件以插件方式終身享受免費升級服務(wù)。
5.工作條件：
5.1 環(huán)境溫度：0-35攝氏度
5.2 相對濕度：0-65%
5.3 工作電壓：220V（±10%），50Hz
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| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2010-09-20
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